ASML周一表示，三星将以5.03亿欧元的价格收购ASML的3%股份，并对ASML再投资2.76亿欧元，研发下一代光刻技术。这笔交易是ASML今年7月宣布的合作投资项目的一部分，该项目旨在加速产品开发。三星、英特尔和台积电合计以38.5亿欧元的价格收购了ASML的23%股份，而ASML表示将不会再寻求其他公司的投资。
ING Group分析师尼尔斯·德扎沃特(Niels de Zwart)表示：“ASML试图使资金最大化，以解决研发成本。三星同意只收购3%的股份，而ASML可供出售的股份还剩5%。这对当前股东来说是好消息。”
自今年7月宣布这一项目以来，ASML股价已上涨了16%。根据这一项目的计划，ASML将加速成本较高的远紫外线技术的开发。这一技术将有利于缩小芯片尺寸，同时提升智能手机和平板电脑等产品的性能和速度。
三星、英特尔和台积电的投资将帮助ASML向新一代芯片制造标准转型，这一标准基于450毫米硅晶圆，而不是当前的300毫米硅晶圆。这将帮助芯片厂商在更短时间内制造出更多产品。
ASML CEO埃里克·穆莱斯(Eric Muerice)上月表示，这一投资项目将带来双赢，ASML将获得资金，而股东将从公司价值的增长中受益。
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